Permeation and Polymers : Mecadi GmbH : Bücher

Handbook of Chemical Vapor Deposition, Second Edition

Autor

Hugh O. Pierson

Preise

Listenpreis: 157,00 US$

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Sprache

Kategorie

Mikroelektronik
Absetzungsprozess

Zielgruppe

Vollständiger, aktueller Überblick über den gesamten Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung; geeignet für Ingenieure und Technologen in der Halbleiter-, Optoelektronik-, Optik-, Schneidwerkzeug- und Filterindustrie sowie der Herstellung feuerfester Fasern und anderer Industrien.

Features

Der praktische Ansatz dieses Handbuches hebt die Nutzung der Gasphasenabscheidung in der Industrie hervor, wie z.B. bei Halbleitern, Optoelektronik, Optik, Schneidewerkzeuge, feuerfesten Fasern, Filtern und vielen anderen.
Die Behandlung von Chemie und Entsorgungs-Methoden von neuen Materialien, die durch Gasphasenabscheidung produziert wurden, wurde in dieser Auflage sehr stark erweitert.
Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf dem schnellen Bedeutungswachstum zweier wichtigerer Gasabscheidungsprozesse: Plasma-Gasphasenabscheidung und metall-organische Gasphasenabscheidung.
Die wachsende Verbreitung der Nutzung von Gasphasenabscheidung in der modernen Industrie wird betont und die Gründe dafür aufgezeigt, außerdem werden unterschiedliche Anwendungen, die in den letzten Jahren entwickelt wurden, vorgestellt.

Beschreibung

Um die neuesten Fortschritte im Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD, von engl. „Chemical Vapor Deposition“) zu verstehen, sollte man sich dieser neuen, zweiten Auflage widmen. Die CVD-Technologie wächst immer schneller, und die Anzahl und der Umfang ihrer Anwendungen sowie deren Einfluss auf den Markt sind beachtlich gewachsen. Der Markt wird mittlerweile auf das mindestens doppelte Ausmaß geschätzt als noch vor sieben Jahren – damals erschien die erste Auflage dieses Buches. Die zweite Auflage ist eine Aktualisierung mit einem beachtlich erweiterten und überarbeitetem Spektrum.

Plasma-Gasphasenabscheidung und metall-organische Gasphasenabscheidung sind zwei wichtige Faktoren in diesem schnellen Wachstum. Leser werden die neuesten Daten zu beiden Prozessen in diesem Band finden. Ebenso erklärt das Buch die wachsende Wichtigkeit von Gasphasenabscheidung in der Produktion von Halbleitern und zusammenhängenden Anwendungen.

Inhalt

Content

Über den Autor

Hugh Pierson ist ein unabhängiger Berater mit chemischer Gasphasenabscheidung als Spezialgebiet. Er war der Leiter des „Deposition Laboratory“ der Sandia National Labore, bis er in Ruhestand trat. Seit dem war er Berater des US State Department in Südamerika, der Ultramet in Pacoima (Kalifornien), der LOF in Toledo (Ohio), dem Gorham Institute in Maine, dem REI in Wittier (Kalifornieren), der TH Goldschmidt AG in Deutschland und vielen anderen Firmen.

Als Absolvent der Pariser Universität und des französischen Naval College hat Mr. Peierson über 100 technische Publikationen aus dem bereich der chemischen Gasphasenabscheidung veröffentlicht. Darüber hinaus war er an einem Buch über CVD beteiligt, das von der American Ceramic Society veröffentlich wurde, und ist Autor dreier anderer Bücher.

Copyright

1999

Angaben

Seiten: 482

6 x 9, Hardcover

ISBN

0-8155-1432-8